Emerging semiconductor technology : a symposium /
Sparad:
| Institutionella upphov: | , |
|---|---|
| Övriga upphov: | , |
| Materialtyp: | Konferenspublikation Bok |
| Språk: | engelska |
| Utgiven: |
Philadelphia, PA :
American Society for Testing and Materials,
c1987.
|
| Serie: | ASTM special technical publication ;
960 |
| Ämnen: | |
| Taggar: |
Inga taggar, Lägg till första taggen!
|
| Beskrivning: | Papers presented at the Fourth International Symposium on Semiconductor Processing. "ASTM publication code number (PCN) 04-960000-46." |
|---|---|
| Fysisk beskrivning: | 704 p. : ill. ; 24 cm. |
| Bibliografi: | Includes bibliographies and indexes. |
| ISBN: | 0803104596 |