Emerging semiconductor technology : a symposium /
Bewaard in:
| Coauteurs: | , |
|---|---|
| Andere auteurs: | , |
| Formaat: | Conferentie akten Boek |
| Taal: | Engels |
| Gepubliceerd in: |
Philadelphia, PA :
American Society for Testing and Materials,
c1987.
|
| Reeks: | ASTM special technical publication ;
960 |
| Onderwerpen: | |
| Tags: |
Geen labels, Wees de eerste die dit record labelt!
|
| Beschrijving item: | Papers presented at the Fourth International Symposium on Semiconductor Processing. "ASTM publication code number (PCN) 04-960000-46." |
|---|---|
| Fysieke beschrijving: | 704 p. : ill. ; 24 cm. |
| Bibliografie: | Includes bibliographies and indexes. |
| ISBN: | 0803104596 |