Emerging semiconductor technology : a symposium /
Uloženo v:
| Korporace: | , |
|---|---|
| Další autoři: | , |
| Médium: | Konferenční příspěvek Kniha |
| Jazyk: | angličtina |
| Vydáno: |
Philadelphia, PA :
American Society for Testing and Materials,
c1987.
|
| Edice: | ASTM special technical publication ;
960 |
| Témata: | |
| Tagy: |
Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!
|
| Popis jednotky: | Papers presented at the Fourth International Symposium on Semiconductor Processing. "ASTM publication code number (PCN) 04-960000-46." |
|---|---|
| Fyzický popis: | 704 p. : ill. ; 24 cm. |
| Bibliografie: | Includes bibliographies and indexes. |
| ISBN: | 0803104596 |