Emerging semiconductor technology : a symposium /
Збережено в:
| Співавтори: | , |
|---|---|
| Інші автори: | , |
| Формат: | Матеріали конференцій Книга |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Philadelphia, PA :
American Society for Testing and Materials,
c1987.
|
| Серія: | ASTM special technical publication ;
960 |
| Предмети: | |
| Теги: |
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Опис примірника: | Papers presented at the Fourth International Symposium on Semiconductor Processing. "ASTM publication code number (PCN) 04-960000-46." |
|---|---|
| Фізичний опис: | 704 p. : ill. ; 24 cm. |
| Бібліографія: | Includes bibliographies and indexes. |
| ISBN: | 0803104596 |