Emerging semiconductor technology : a symposium /
Gespeichert in:
| Körperschaften: | , |
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| Weitere Verfasser: | , |
| Format: | Tagungsbericht Buch |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Philadelphia, PA :
American Society for Testing and Materials,
c1987.
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| Schriftenreihe: | ASTM special technical publication ;
960 |
| Schlagworte: | |
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| Beschreibung: | Papers presented at the Fourth International Symposium on Semiconductor Processing. "ASTM publication code number (PCN) 04-960000-46." |
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| Beschreibung: | 704 p. : ill. ; 24 cm. |
| Bibliographie: | Includes bibliographies and indexes. |
| ISBN: | 0803104596 |