Emerging semiconductor technology : a symposium /
Guardat en:
| Autor corporatiu: | , |
|---|---|
| Altres autors: | , |
| Format: | Actes de congresos Llibre |
| Idioma: | anglès |
| Publicat: |
Philadelphia, PA :
American Society for Testing and Materials,
c1987.
|
| Col·lecció: | ASTM special technical publication ;
960 |
| Matèries: | |
| Etiquetes: |
Sense etiquetes, Sigues el primer a etiquetar aquest registre!
|
| Descripció de l’ítem: | Papers presented at the Fourth International Symposium on Semiconductor Processing. "ASTM publication code number (PCN) 04-960000-46." |
|---|---|
| Descripció física: | 704 p. : ill. ; 24 cm. |
| Bibliografia: | Includes bibliographies and indexes. |
| ISBN: | 0803104596 |