Emerging semiconductor technology : a symposium /
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| Enti autori: | , |
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| Altri autori: | , |
| Natura: | Atti del Convegno Libro |
| Lingua: | inglese |
| Pubblicazione: |
Philadelphia, PA :
American Society for Testing and Materials,
c1987.
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| Serie: | ASTM special technical publication ;
960 |
| Soggetti: | |
| Tags: |
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| Descrizione del documento: | Papers presented at the Fourth International Symposium on Semiconductor Processing. "ASTM publication code number (PCN) 04-960000-46." |
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| Descrizione fisica: | 704 p. : ill. ; 24 cm. |
| Bibliografia: | Includes bibliographies and indexes. |
| ISBN: | 0803104596 |