Emerging semiconductor technology : a symposium /
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| Autores Corporativos: | , |
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| Otros Autores: | , |
| Formato: | Procedimiento de la Conferencia Libro |
| Lenguaje: | inglés |
| Publicado: |
Philadelphia, PA :
American Society for Testing and Materials,
c1987.
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| Colección: | ASTM special technical publication ;
960 |
| Materias: | |
| Etiquetas: |
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| Notas: | Papers presented at the Fourth International Symposium on Semiconductor Processing. "ASTM publication code number (PCN) 04-960000-46." |
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| Descripción Física: | 704 p. : ill. ; 24 cm. |
| Bibliografía: | Includes bibliographies and indexes. |
| ISBN: | 0803104596 |