Emerging semiconductor technology : a symposium /
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| निगमित लेखकों: | , |
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| अन्य लेखक: | , |
| स्वरूप: | सम्मेलन की कार्यवाही पुस्तक |
| भाषा: | अंग्रेज़ी |
| प्रकाशित: |
Philadelphia, PA :
American Society for Testing and Materials,
c1987.
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| श्रृंखला: | ASTM special technical publication ;
960 |
| विषय: | |
| टैग: |
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| वस्तु वर्णन: | Papers presented at the Fourth International Symposium on Semiconductor Processing. "ASTM publication code number (PCN) 04-960000-46." |
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| भौतिक वर्णन: | 704 p. : ill. ; 24 cm. |
| ग्रन्थसूची: | Includes bibliographies and indexes. |
| आईएसबीएन: | 0803104596 |