Emerging semiconductor technology : a symposium /
Wedi'i Gadw mewn:
| Awduron Corfforaethol: | , |
|---|---|
| Awduron Eraill: | , |
| Fformat: | Trafodyn Cynhadledd Llyfr |
| Iaith: | Saesneg |
| Cyhoeddwyd: |
Philadelphia, PA :
American Society for Testing and Materials,
c1987.
|
| Cyfres: | ASTM special technical publication ;
960 |
| Pynciau: | |
| Tagiau: |
Dim Tagiau, Byddwch y cyntaf i dagio'r cofnod hwn!
|
| Disgrifiad o'r Eitem: | Papers presented at the Fourth International Symposium on Semiconductor Processing. "ASTM publication code number (PCN) 04-960000-46." |
|---|---|
| Disgrifiad Corfforoll: | 704 p. : ill. ; 24 cm. |
| Llyfryddiaeth: | Includes bibliographies and indexes. |
| ISBN: | 0803104596 |