Emerging semiconductor technology : a symposium /
Gorde:
| Egile korporatiboa: | , |
|---|---|
| Beste egile batzuk: | , |
| Formatua: | Konferentzia-aktak Liburua |
| Hizkuntza: | ingelesa |
| Argitaratua: |
Philadelphia, PA :
American Society for Testing and Materials,
c1987.
|
| Saila: | ASTM special technical publication ;
960 |
| Gaiak: | |
| Etiketak: |
Etiketarik gabe, Izan zaitez lehena erregistro honi etiketa jartzen!
|
| Alearen deskribapena: | Papers presented at the Fourth International Symposium on Semiconductor Processing. "ASTM publication code number (PCN) 04-960000-46." |
|---|---|
| Deskribapen fisikoa: | 704 p. : ill. ; 24 cm. |
| Bibliografia: | Includes bibliographies and indexes. |
| ISBN: | 0803104596 |