Emerging semiconductor technology : a symposium /
Сохранить в:
| Корпоративные авторы: | , |
|---|---|
| Другие авторы: | , |
| Формат: | Материалы конференции |
| Язык: | английский |
| Опубликовано: |
Philadelphia, PA :
American Society for Testing and Materials,
c1987.
|
| Серии: | ASTM special technical publication ;
960 |
| Предметы: | |
| Метки: |
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| Примечание: | Papers presented at the Fourth International Symposium on Semiconductor Processing. "ASTM publication code number (PCN) 04-960000-46." |
|---|---|
| Объем: | 704 p. : ill. ; 24 cm. |
| Библиография: | Includes bibliographies and indexes. |
| ISBN: | 0803104596 |