Emerging semiconductor technology : a symposium /
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| 共著者: | , |
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| その他の著者: | , |
| フォーマット: | 会議録 図書 |
| 言語: | 英語 |
| 出版事項: |
Philadelphia, PA :
American Society for Testing and Materials,
c1987.
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| シリーズ: | ASTM special technical publication ;
960 |
| 主題: | |
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| 記述事項: | Papers presented at the Fourth International Symposium on Semiconductor Processing. "ASTM publication code number (PCN) 04-960000-46." |
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| 物理的記述: | 704 p. : ill. ; 24 cm. |
| 書誌: | Includes bibliographies and indexes. |
| ISBN: | 0803104596 |