Emerging semiconductor technology : a symposium /

שמור ב:
מידע ביבליוגרפי
Corporate Authors: ASTM Committee F-1 on Electronics, Symposium on Semiconductor Processing
מחברים אחרים: Gupta, D. C. (Dinesh C.), Langer, Paul H.
פורמט: Conference Proceeding ספר
שפה:אנגלית
יצא לאור: Philadelphia, PA : American Society for Testing and Materials, c1987.
סדרה:ASTM special technical publication ; 960
נושאים:
תגים: הוספת תג
אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!
תיאור
תאור פריט:Papers presented at the Fourth International Symposium on Semiconductor Processing.
"ASTM publication code number (PCN) 04-960000-46."
תיאור פיזי:704 p. : ill. ; 24 cm.
ביבליוגרפיה:Includes bibliographies and indexes.
ISBN:0803104596