Emerging semiconductor technology : a symposium /

Պահպանված է:
Մատենագիտական մանրամասներ
Համատեղ հեղինակներ: ASTM Committee F-1 on Electronics, Symposium on Semiconductor Processing
Այլ հեղինակներ: Gupta, D. C. (Dinesh C.), Langer, Paul H.
Ձևաչափ: Գիտաժողովի նյութեր Գիրք
Լեզու:անգլերեն
Հրապարակվել է: Philadelphia, PA : American Society for Testing and Materials, c1987.
Շարք:ASTM special technical publication ; 960
Խորագրեր:
Ցուցիչներ: Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
Նկարագրություն
Նյութի նկարագրություն:Papers presented at the Fourth International Symposium on Semiconductor Processing.
"ASTM publication code number (PCN) 04-960000-46."
Ֆիզիկական նկարագրություն:704 p. : ill. ; 24 cm.
Մատենագիտություն:Includes bibliographies and indexes.
ISBN:0803104596