Emerging semiconductor technology : a symposium /
Պահպանված է:
| Համատեղ հեղինակներ: | , |
|---|---|
| Այլ հեղինակներ: | , |
| Ձևաչափ: | Գիտաժողովի նյութեր Գիրք |
| Լեզու: | անգլերեն |
| Հրապարակվել է: |
Philadelphia, PA :
American Society for Testing and Materials,
c1987.
|
| Շարք: | ASTM special technical publication ;
960 |
| Խորագրեր: | |
| Ցուցիչներ: |
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
|
| Նյութի նկարագրություն: | Papers presented at the Fourth International Symposium on Semiconductor Processing. "ASTM publication code number (PCN) 04-960000-46." |
|---|---|
| Ֆիզիկական նկարագրություն: | 704 p. : ill. ; 24 cm. |
| Մատենագիտություն: | Includes bibliographies and indexes. |
| ISBN: | 0803104596 |