Emerging semiconductor technology : a symposium /
Spremljeno u:
| Autori kompanije: | , |
|---|---|
| Daljnji autori: | , |
| Format: | Izvještaj sastanka Knjiga |
| Jezik: | engleski |
| Izdano: |
Philadelphia, PA :
American Society for Testing and Materials,
c1987.
|
| Serija: | ASTM special technical publication ;
960 |
| Teme: | |
| Oznake: |
Bez oznaka, Budi prvi tko označuje ovaj zapis!
|
| Opis predmeta: | Papers presented at the Fourth International Symposium on Semiconductor Processing. "ASTM publication code number (PCN) 04-960000-46." |
|---|---|
| Opis fizičkog objekta: | 704 p. : ill. ; 24 cm. |
| Bibliografija: | Includes bibliographies and indexes. |
| ISBN: | 0803104596 |