Emerging semiconductor technology : a symposium /
Zapisane w:
| organizacja autorów: | , |
|---|---|
| Kolejni autorzy: | , |
| Format: | Materiały konferencyjne Książka |
| Język: | angielski |
| Wydane: |
Philadelphia, PA :
American Society for Testing and Materials,
c1987.
|
| Seria: | ASTM special technical publication ;
960 |
| Hasła przedmiotowe: | |
| Etykiety: |
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!
|
| Deskrypcja: | Papers presented at the Fourth International Symposium on Semiconductor Processing. "ASTM publication code number (PCN) 04-960000-46." |
|---|---|
| Opis fizyczny: | 704 p. : ill. ; 24 cm. |
| Bibliografia: | Includes bibliographies and indexes. |
| ISBN: | 0803104596 |