Semiconductor fabrication : technology and metrology /
Збережено в:
| Автор: | |
|---|---|
| Інші автори: | |
| Формат: | Книга |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Philadelphia :
ASTM,
c1989.
|
| Предмети: | |
| Онлайн доступ: | Contributor biographical information Publisher description Table of contents |
| Теги: |
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Фізичний опис: | 476 p. : ill. ; 24 cm. |
|---|---|
| Бібліографія: | Includes bibliographical references and index. |
| ISBN: | 0803112734 |