Semiconductor fabrication : technology and metrology /
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | |
| Язык: | английский |
| Опубликовано: |
Philadelphia :
ASTM,
c1989.
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Contributor biographical information Publisher description Table of contents |
| Метки: |
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| Объем: | 476 p. : ill. ; 24 cm. |
|---|---|
| Библиография: | Includes bibliographical references and index. |
| ISBN: | 0803112734 |