Semiconductor fabrication : technology and metrology /
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| Autore principale: | |
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| Altri autori: | |
| Natura: | Libro |
| Lingua: | inglese |
| Pubblicazione: |
Philadelphia :
ASTM,
c1989.
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| Soggetti: | |
| Accesso online: | Contributor biographical information Publisher description Table of contents |
| Tags: |
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| Descrizione fisica: | 476 p. : ill. ; 24 cm. |
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| Bibliografia: | Includes bibliographical references and index. |
| ISBN: | 0803112734 |