Semiconductor fabrication : technology and metrology /

שמור ב:
מידע ביבליוגרפי
מחבר ראשי: Gupta Dinesh C.
מחברים אחרים: Sze, S. M.
פורמט: ספר
שפה:אנגלית
יצא לאור: Philadelphia : ASTM, c1989.
נושאים:
גישה מקוונת:Contributor biographical information
Publisher description
Table of contents
תגים: הוספת תג
אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!
תיאור
תיאור פיזי:476 p. : ill. ; 24 cm.
ביבליוגרפיה:Includes bibliographical references and index.
ISBN:0803112734