Semiconductor fabrication : technology and metrology /
Gorde:
| Egile nagusia: | |
|---|---|
| Beste egile batzuk: | |
| Formatua: | Liburua |
| Hizkuntza: | ingelesa |
| Argitaratua: |
Philadelphia :
ASTM,
c1989.
|
| Gaiak: | |
| Sarrera elektronikoa: | Contributor biographical information Publisher description Table of contents |
| Etiketak: |
Etiketarik gabe, Izan zaitez lehena erregistro honi etiketa jartzen!
|
| Deskribapen fisikoa: | 476 p. : ill. ; 24 cm. |
|---|---|
| Bibliografia: | Includes bibliographical references and index. |
| ISBN: | 0803112734 |