Semiconductor fabrication : technology and metrology /

Sparad:
Bibliografiska uppgifter
Huvudupphov: Gupta Dinesh C.
Övriga upphov: Sze, S. M.
Materialtyp: Bok
Språk:engelska
Utgiven: Philadelphia : ASTM, c1989.
Ämnen:
Länkar:Contributor biographical information
Publisher description
Table of contents
Taggar: Lägg till en tagg
Inga taggar, Lägg till första taggen!
Beskrivning
Fysisk beskrivning:476 p. : ill. ; 24 cm.
Bibliografi:Includes bibliographical references and index.
ISBN:0803112734