Semiconductor fabrication : technology and metrology /

Saved in:
Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter: Gupta Dinesh C.
Andre forfattere: Sze, S. M.
Format: Bog
Sprog:engelsk
Udgivet: Philadelphia : ASTM, c1989.
Fag:
Online adgang:Contributor biographical information
Publisher description
Table of contents
Tags: Tilføj Tag
Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!

MARC

LEADER 00000nam a22000007a 4500
001 52674
003 BD-DhMIS
005 20180513094821.0
008 130902t1989 nyua b 001 0 eng
010 |a  2003276248 
020 |a 0803112734 
040 |a BD-DhMIS  |c BD-DhMIS  |d HKP  |d FUG  |d DLC 
050 0 0 |a TK7871.85  |b .M378 2004 
082 0 0 |a 621.3815/2  |2 22 
100 1 |a Gupta Dinesh C. 
245 1 0 |a Semiconductor fabrication :  |c Dinesh C. Gupta.  |b technology and metrology / 
260 |a Philadelphia :  |b ASTM,  |c c1989. 
300 |a 476 p. :  |b ill. ;  |c 24 cm. 
504 |a Includes bibliographical references and index. 
541 |e 52674 
650 0 |a Semiconductors  |x Design and construction. 
650 0 |a Integrated circuits.  |x Design and construction. 
700 1 |a Sze, S. M. 
856 4 2 |3 Contributor biographical information  |u http://www.loc.gov/catdir/bios/wiley044/2003276248.html 
856 4 2 |3 Publisher description  |u http://www.loc.gov/catdir/description/wiley037/2003276248.html 
856 4 1 |3 Table of contents  |u http://www.loc.gov/catdir/toc/wiley032/2003276248.html 
942 |2 ddc  |c REF 
952 |0 0  |1 0  |2 ddc  |4 0  |6 621_381500000000000_2_GUP  |7 0  |9 58670  |a MISTCL  |b MISTCL  |d 2018-05-13  |e The Asia foundation  |g 0.00  |l 0  |o 621.3815/2 GUP  |p 3010052674  |r 2018-05-13 00:00:00  |t 1  |w 2018-05-13  |y REF 
952 |0 0  |1 0  |2 ddc  |4 0  |6 621_381500000000000_2_GUP  |7 0  |9 61314  |a MISTCL  |b EECEDL  |d 2020-02-23  |e S.S. Enterprise  |g 7000.00  |l 0  |o 621.3815/2 GUP  |p 3010064806  |r 2020-02-23 00:00:00  |t 2  |w 2020-02-23  |y REF 
952 |0 0  |1 0  |2 ddc  |4 0  |6 621_381500000000000_2_GUP  |7 0  |9 61315  |a MISTCL  |b MISTCL  |d 2020-02-23  |e S.S. Enterprise  |g 7000.00  |l 0  |o 621.3815/2 GUP  |p 3010064807  |r 2020-02-23 00:00:00  |t 3  |w 2020-02-23  |y REF 
952 |0 0  |1 0  |2 ddc  |4 0  |6 621_381500000000000_2_GUP  |7 0  |9 61316  |a MISTCL  |b MISTCL  |d 2020-02-23  |e S.S. Enterprise  |g 7000.00  |l 0  |o 621.3815/2 GUP  |p 3010064808  |r 2020-02-23 00:00:00  |t 4  |w 2020-02-23  |y REF 
999 |c 6595  |d 6595