Semiconductor fabrication : technology and metrology /
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| Autor principal: | |
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| Formato: | Livro |
| Idioma: | inglês |
| Publicado em: |
Philadelphia :
ASTM,
c1989.
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| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | Contributor biographical information Publisher description Table of contents |
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| Descrição Física: | 476 p. : ill. ; 24 cm. |
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| Bibliografia: | Includes bibliographical references and index. |
| ISBN: | 0803112734 |