Semiconductor fabrication : technology and metrology /
Spremljeno u:
| Glavni autor: | |
|---|---|
| Daljnji autori: | |
| Format: | Knjiga |
| Jezik: | engleski |
| Izdano: |
Philadelphia :
ASTM,
c1989.
|
| Teme: | |
| Online pristup: | Contributor biographical information Publisher description Table of contents |
| Oznake: |
Bez oznaka, Budi prvi tko označuje ovaj zapis!
|
| Opis fizičkog objekta: | 476 p. : ill. ; 24 cm. |
|---|---|
| Bibliografija: | Includes bibliographical references and index. |
| ISBN: | 0803112734 |