The science and engineering of microelectronic fabrication /
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| 主要作者: | |
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| 格式: | 图书 |
| 语言: | 英语 |
| 出版: |
New York :
Oxford University Press,
1996.
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| 丛编: | Oxford series in electrical engineering
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| 主题: | |
| 在线阅读: | Publisher description Table of contents only |
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| 实物描述: | xv, 536 p. : ill. ; 25 cm. |
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| 参考书目: | Includes bibliographical references and index. |
| ISBN: | 0195105087 (cl : acidfree paper) |