The science and engineering of microelectronic fabrication /
Tallennettuna:
| Päätekijä: | |
|---|---|
| Aineistotyyppi: | Kirja |
| Kieli: | englanti |
| Julkaistu: |
New York :
Oxford University Press,
1996.
|
| Sarja: | Oxford series in electrical engineering
|
| Aiheet: | |
| Linkit: | Publisher description Table of contents only |
| Tagit: |
Ei tageja, Lisää ensimmäinen tagi!
|
| Ulkoasu: | xv, 536 p. : ill. ; 25 cm. |
|---|---|
| Bibliografia: | Includes bibliographical references and index. |
| ISBN: | 0195105087 (cl : acidfree paper) |