The science and engineering of microelectronic fabrication /
Saved in:
| Hovedforfatter: | |
|---|---|
| Format: | Bog |
| Sprog: | engelsk |
| Udgivet: |
New York :
Oxford University Press,
1996.
|
| Serier: | Oxford series in electrical engineering
|
| Fag: | |
| Online adgang: | Publisher description Table of contents only |
| Tags: |
Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!
|
| Fysisk beskrivelse: | xv, 536 p. : ill. ; 25 cm. |
|---|---|
| Bibliografi: | Includes bibliographical references and index. |
| ISBN: | 0195105087 (cl : acidfree paper) |