The science and engineering of microelectronic fabrication /
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| मुख्य लेखक: | |
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| स्वरूप: | पुस्तक |
| भाषा: | अंग्रेज़ी |
| प्रकाशित: |
New York :
Oxford University Press,
1996.
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| श्रृंखला: | Oxford series in electrical engineering
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| विषय: | |
| ऑनलाइन पहुंच: | Publisher description Table of contents only |
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| भौतिक वर्णन: | xv, 536 p. : ill. ; 25 cm. |
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| ग्रन्थसूची: | Includes bibliographical references and index. |
| आईएसबीएन: | 0195105087 (cl : acidfree paper) |