The science and engineering of microelectronic fabrication /
Збережено в:
| Автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
New York :
Oxford University Press,
1996.
|
| Серія: | Oxford series in electrical engineering
|
| Предмети: | |
| Онлайн доступ: | Publisher description Table of contents only |
| Теги: |
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Фізичний опис: | xv, 536 p. : ill. ; 25 cm. |
|---|---|
| Бібліографія: | Includes bibliographical references and index. |
| ISBN: | 0195105087 (cl : acidfree paper) |