The science and engineering of microelectronic fabrication /
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| 1. Verfasser: | |
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| Format: | Buch |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
New York :
Oxford University Press,
1996.
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| Schriftenreihe: | Oxford series in electrical engineering
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| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Publisher description Table of contents only |
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| Beschreibung: | xv, 536 p. : ill. ; 25 cm. |
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| Bibliographie: | Includes bibliographical references and index. |
| ISBN: | 0195105087 (cl : acidfree paper) |