The science and engineering of microelectronic fabrication /

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Автор: Campbell, Stephen A., 1954-
Формат: Книга
Мова:Англійська
Опубліковано: New York : Oxford University Press, 1996.
Серія:Oxford series in electrical engineering
Предмети:
Онлайн доступ:Publisher description
Table of contents only
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!

MARC

LEADER 00000nam a2200000 a 4500
001 26193
003 mist
005 20130916080734.0
008 130916s1996 nyua b 001 0 eng d
010 |a  95035577  
020 |a 0195105087 (cl : acidfree paper) 
040 |a DLC  |c DLC  |d DLC  |d BD-DhMIS 
050 0 0 |a TK7871.85  |b .C25 1996 
082 0 0 |a 621.3815/2  |2 20 
100 1 |a Campbell, Stephen A.,  |d 1954- 
245 1 4 |a The science and engineering of microelectronic fabrication /  |c Stephen A. Campbell. 
260 |a New York :  |b Oxford University Press,  |c 1996. 
300 |a xv, 536 p. :  |b ill. ;  |c 25 cm. 
440 0 |a Oxford series in electrical engineering 
504 |a Includes bibliographical references and index. 
541 |e 26193 
650 0 |a Semiconductors  |x Design and construction. 
856 4 2 |3 Publisher description  |u http://www.loc.gov/catdir/enhancements/fy0640/95035577-d.html 
856 4 1 |3 Table of contents only  |u http://www.loc.gov/catdir/enhancements/fy0640/95035577-t.html 
942 |2 ddc  |c REF 
952 |0 0  |1 0  |2 ddc  |4 0  |6 621_381520000000000_CAM  |7 0  |9 16842  |a MISTCL  |b MISTCL  |d 2013-09-16  |e S.S enterprise  |g 4500.00  |l 0  |o 621.3815/2 CAM  |p 3010026193  |r 2013-09-16 00:00:00  |t 1  |w 2013-09-16  |y REF 
955 |a pb16 to ja00 07-19-95; jf06 to subj 07-20-95; jf11 to sl 07-21-95.; jf1307-21-95; CIP ver. pv07 07-15-96 
999 |c 2071  |d 2071