The science and engineering of microelectronic fabrication /
Gardado en:
| Autor Principal: | |
|---|---|
| Formato: | Libro |
| Idioma: | inglés |
| Publicado: |
New York :
Oxford University Press,
1996.
|
| Series: | Oxford series in electrical engineering
|
| Subjects: | |
| Acceso en liña: | Publisher description Table of contents only |
| Tags: |
Sen Etiquetas, Sexa o primeiro en etiquetar este rexistro!
|
| Descrición Física: | xv, 536 p. : ill. ; 25 cm. |
|---|---|
| Bibliografía: | Includes bibliographical references and index. |
| ISBN: | 0195105087 (cl : acidfree paper) |