Semiconductor fabrication : technology and metrology /

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Detalhes bibliográficos
Autor principal:	Gupta Dinesh C.
Outros Autores:	Sze, S. M.
Formato:	Livro
Idioma:	inglês
Publicado em:	Philadelphia : ASTM, c1989.
Assuntos:	Semiconductors > Design and construction. Integrated circuits. > Design and construction.
Acesso em linha:	Contributor biographical information Publisher description Table of contents
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