Semiconductor fabrication : technology and metrology /

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Détails bibliographiques
Auteur principal:	Gupta Dinesh C.
Autres auteurs:	Sze, S. M.
Format:	Livre
Langue:	anglais
Publié:	Philadelphia : ASTM, c1989.
Sujets:	Semiconductors > Design and construction. Integrated circuits. > Design and construction.
Accès en ligne:	Contributor biographical information Publisher description Table of contents
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