Semiconductor fabrication : technology and metrology /

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Detalles Bibliográficos
Autor Principal:	Gupta Dinesh C.
Outros autores:	Sze, S. M.
Formato:	Libro
Idioma:	inglés
Publicado:	Philadelphia : ASTM, c1989.
Subjects:	Semiconductors > Design and construction. Integrated circuits. > Design and construction.
Acceso en liña:	Contributor biographical information Publisher description Table of contents
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