Semiconductor fabrication : technology and metrology /

Gorde:
Xehetasun bibliografikoak
Egile nagusia: Gupta Dinesh C.
Beste egile batzuk: Sze, S. M.
Formatua: Liburua
Hizkuntza:ingelesa
Argitaratua: Philadelphia : ASTM, c1989.
Gaiak:
Sarrera elektronikoa:Contributor biographical information
Publisher description
Table of contents
Etiketak: Etiketa erantsi
Etiketarik gabe, Izan zaitez lehena erregistro honi etiketa jartzen!