The science and engineering of microelectronic fabrication /

Sparad:
Bibliografiska uppgifter
Huvudupphov: Campbell, Stephen A., 1954-
Materialtyp: Bok
Språk:engelska
Utgiven: New York ; New Delhi : Oxford University Press, 2001.[Repriented 2004]
Upplaga:2nd ed.
Serie:The Oxford series in electrical and computer engineering
Ämnen:
Länkar:Publisher description
Table of contents only
Taggar: Lägg till en tagg
Inga taggar, Lägg till första taggen!
Beskrivning
Fysisk beskrivning:xiv, 603 p. : ill. ; 24 cm.
Bibliografi:Includes bibliographical references and index.
ISBN:0195136055
9780195136050