The science and engineering of microelectronic fabrication /
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
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| Format: | Buch |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
New York ; New Delhi :
Oxford University Press,
2001.[Repriented 2004]
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| Ausgabe: | 2nd ed. |
| Schriftenreihe: | The Oxford series in electrical and computer engineering
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| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Publisher description Table of contents only |
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| Beschreibung: | xiv, 603 p. : ill. ; 24 cm. |
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| Bibliographie: | Includes bibliographical references and index. |
| ISBN: | 0195136055 9780195136050 |