The science and engineering of microelectronic fabrication /
Bewaard in:
| Hoofdauteur: | |
|---|---|
| Formaat: | Boek |
| Taal: | Engels |
| Gepubliceerd in: |
New York ; New Delhi :
Oxford University Press,
2001.[Repriented 2004]
|
| Editie: | 2nd ed. |
| Reeks: | The Oxford series in electrical and computer engineering
|
| Onderwerpen: | |
| Online toegang: | Publisher description Table of contents only |
| Tags: |
Geen labels, Wees de eerste die dit record labelt!
|
| Fysieke beschrijving: | xiv, 603 p. : ill. ; 24 cm. |
|---|---|
| Bibliografie: | Includes bibliographical references and index. |
| ISBN: | 0195136055 9780195136050 |