The science and engineering of microelectronic fabrication /
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | |
| Язык: | английский |
| Опубликовано: |
New York ; New Delhi :
Oxford University Press,
2001.[Repriented 2004]
|
| Редактирование: | 2nd ed. |
| Серии: | The Oxford series in electrical and computer engineering
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Publisher description Table of contents only |
| Метки: |
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| Объем: | xiv, 603 p. : ill. ; 24 cm. |
|---|---|
| Библиография: | Includes bibliographical references and index. |
| ISBN: | 0195136055 9780195136050 |