Gupta Dinesh C. & Sze, S. M. (1989). Semiconductor fabrication: Technology and metrology. ASTM.
Kopierad till urklipp
Kopiering till urklipp misslyckades
Chicago-referens (17:e uppl.)
Gupta Dinesh C. och S. M. Sze. Semiconductor Fabrication: Technology and Metrology. Philadelphia: ASTM, 1989.
Kopierad till urklipp
Kopiering till urklipp misslyckades
MLA-referens (9:e uppl.)
Gupta Dinesh C. och S. M. Sze. Semiconductor Fabrication: Technology and Metrology. ASTM, 1989.
Kopierad till urklipp
Kopiering till urklipp misslyckades
Varning: dessa hänvisningar är inte alltid fullständigt riktiga.