Gupta Dinesh C. & Sze, S. M. (1989). Semiconductor fabrication: Technology and metrology. ASTM.
Kopioitu leikepöydälle
Kopiointi leikepöydälle epäonnistui
Chicago-viite (17. p.)
Gupta Dinesh C. ja S. M. Sze. Semiconductor Fabrication: Technology and Metrology. Philadelphia: ASTM, 1989.
Kopioitu leikepöydälle
Kopiointi leikepöydälle epäonnistui
MLA-viite (9. p.)
Gupta Dinesh C. ja S. M. Sze. Semiconductor Fabrication: Technology and Metrology. ASTM, 1989.
Kopioitu leikepöydälle
Kopiointi leikepöydälle epäonnistui
Varoitus: Nämä viitteet eivät aina ole täysin luotettavia.