Gupta Dinesh C. & Sze, S. M. (1989). Semiconductor fabrication: Technology and metrology. ASTM.
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Citação do estilo Chicago (17ª ed.)
Gupta Dinesh C. e S. M. Sze. Semiconductor Fabrication: Technology and Metrology. Philadelphia: ASTM, 1989.
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Citação MLA (9ª ed.)
Gupta Dinesh C. e S. M. Sze. Semiconductor Fabrication: Technology and Metrology. ASTM, 1989.
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