The science and engineering of microelectronic fabrication /
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| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Livro |
| Idioma: | inglês |
| Publicado em: |
New York :
Oxford University Press,
1996.
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| Colecção: | Oxford series in electrical engineering
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| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | Publisher description Table of contents only |
| Tags: |
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