The science and engineering of microelectronic fabrication /
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | |
| Язык: | английский |
| Опубликовано: |
New York :
Oxford University Press,
1996.
|
| Серии: | Oxford series in electrical engineering
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Publisher description Table of contents only |
| Метки: |
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| Объем: | xv, 536 p. : ill. ; 25 cm. |
|---|---|
| Библиография: | Includes bibliographical references and index. |
| ISBN: | 0195105087 (cl : acidfree paper) |