Fundamentals of semiconductor fabrication /
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| 格式: | 图书 |
| 语言: | 英语 |
| 出版: |
New York :
Wiley,
c2006.
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| 实物描述: | xiii, 305 p. : ill. ; 24 cm. |
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| 参考书目: | Includes bibliographical references and index. |
| ISBN: | 0471232793 981253072X |