Fundamentals of semiconductor fabrication /
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| Autor principal: | |
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| Outros Autores: | |
| Formato: | Livro |
| Idioma: | inglês |
| Publicado em: |
New York :
Wiley,
c2006.
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| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | Contributor biographical information Publisher description Table of contents |
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| Descrição Física: | xiii, 305 p. : ill. ; 24 cm. |
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| Bibliografia: | Includes bibliographical references and index. |
| ISBN: | 0471232793 981253072X |