Emerging semiconductor technology : a symposium /

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: ASTM Committee F-1 on Electronics, Symposium on Semiconductor Processing
Weitere Verfasser: Gupta, D. C. (Dinesh C.), Langer, Paul H.
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: Philadelphia, PA : American Society for Testing and Materials, c1987.
Schriftenreihe:ASTM special technical publication ; 960
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